國內有哪些知名的半導體設備精密零部件品牌公司
1. 富創精密：中國大陸半導體精密零部件的優秀供應商
1.1 股權結構：沈陽先進為公司第一大股東，鄭廣文為實際控制人
沈陽富創精密設備股份有限公司（簡稱富創精密）成立于 2008 年 6 月 24 日， 2022 年 10 月 10 日于科創板上市，注冊資本 20905.33 萬元。沈陽先進為公司第一大股 東，科創板發行上市后持有公司 16.91%股權；實際控制人為鄭廣文，對公司生產經營、 重大決策具有實際的控制力。
富創精密 5%以上股份的股東包括寧波祥浦、上海國投，分別持有 16.17%、13.67% 股權；富創精密的三個持股平臺寧波芯富、寧波芯芯、寧波良芯，分別持有 2.87%、0.48%、 0.48%公司股權；此外富創精密員工資管計劃參與了科創板 IPO 上市發行，持有公司 1.54%股權。 公司擁有沈陽融創、北京富創、南通富創、富創研究院、沈陽強航 5 家境內控股子 公司，美國富創、日本富創 2 家境外全資子公司，上海廣川、芯鏈融創 2 家境內參股公 司。
1.2 產品類別：四大類產品布局，目前正處于高速發展期；部分產品已應 用于 7nm 前道半導體設備
公司專注于金屬材料零部件精密制造技術，主要產品包括工藝零部件、結構零部件、 模組產品和氣體管路四大類，應用于半導體設備、泛半導體設備及其它領域。根據中國證監會發布的《上市公司行業分類指引（2012 年修訂）》，公司所屬行業為通用設備 制造業（代碼：C34）。
半導體設備精密零部件具有多品種、小批量、定制化的特點，工序繁瑣、技術難度 大，公司主要提供的四大類產品具有如下特點：結構零部件。工藝制程相對簡單，技術要求低于工藝零部件；公司與客戶的合 作往往從結構零部件開始，所以結構零部件放量更快。 工藝零部件。工藝制程更復雜、技術要求更高、客戶驗證周期更長，客戶選擇 或替代其他供應商更為謹慎。 氣體管路/模組產品。屬于公司新開拓產品，模組產品的生產流程主要為裝配和 測試，產品具有多品種、定制化的特點。
公司的發展歷程主要包括三大階段： （1）、2008-2014，工藝積累和技術攻關階段，實現國產化自主可控；成為 A 客戶 合格供應商。公司成立之初引進行業專家，帶來技術經驗和專業能力，自研產品多為 90 納米以上制程半導體設備的工藝零部件和不直接參與晶圓反應過程的外圍結構零部件。 公司于 2011 年承擔國家02 重大專項中的IC 設備關鍵零部件集成制造技術與加工 平臺項目，依托02 重大專項進行自主研發，掌握了部分精密零部件的制造技術，并取得了相應專利保護。在這期間，公司成功向國際半導體設備龍頭客戶 A 交付了首款 精密零部件產品，并通過其質量體系認證，成為其合格供應商。 （2）、2014-2018，快速發展階段，部分技術達到主流國際客戶標準；成為 A 客戶 戰略供應商，并成為東京電子、VAT 等國際知名企業的供應商。2014 年公司再次承擔 國家02 重大專項中基于焊接和表面涂覆技術的大型鋁件制造技術開發項目。 通過持續研發投入，以及針對 22nm 以下大型鋁合金零部件超強耐腐蝕、特種焊接等技 術的產業化應用，公司具備了一套完整的復合焊接工藝，掌握了特種涂層噴涂工藝等表 面處理特種工藝核心技術，半導體設備精密零部件的焊接及表面處理特種工藝技術達到 主流國際客戶標準。在這期間，公司成為客戶 A 的戰略供應商，東京電子、VAT 等國際 知名企業的供應商，并為北方華創、中科信裝備、拓荊科技等國內知名半導體設備企業 提供精密零部件的研發及量產配套服務。 （3）、2018 至今，高速發展階段，持續擴大產能；并不斷向高端產品發展。公司 進入 HATICHI High-Tech、ASMI 等多個全球半導體設備龍頭廠商供應鏈體系。隨著國 內半導體設備企業的崛起，公司積極開拓國內市場，實現了對主流國內半導體設備廠商 的量產配套，內銷收入規模不斷提升。目前，公司部分高端產品已應用于 7nm 制程的 半導體設備。
公司主要產品應用于半導體設備領域，覆蓋集成電路制造中刻蝕、薄膜沉積、光刻 及涂膠顯影、化學機械拋光、離子注入等核心環節設別，部分產品已應用于 7nm 制程 的前道設備中。
1.3 技術團隊：行業經驗積累深厚，持續研發
公司結合多年的技術研發與項目實踐經驗所積累的科研成果，在精密機械制造、表 面處理特種工藝、焊接等半導體設備精密零部件關鍵環節具備了領先的技術能力。截止 2021 年 12 月 31 日，公司員工人數為 1088 人，其中研發人員 225 人，占比 20.68%。
截止 2021 年 12 月 31 日，公司總預算金額排名前 10 的在研項目包括：基于原子 層沉積技術制備零部件保護薄膜研發項目、氣體流量控制器基座工藝技術研發項目、高端管路制造工藝研發項目、材料自動化焊接工藝研發項目、勻氣盤類產品流量均勻性和 超高潔凈度技術研發項目、全球戰略客戶產品研發項目、高潔凈度高真空半導體門閥研 發項目、離散制造的切削液集中供給系統研發項目、集成電路化學機械拋光設備關鍵零 部件保持環制造工藝研發項目、離散制造的切屑收集及儲運系統研發項目等。 根據富創精密招股說明書（注冊稿），公司獲國家發改委集成電路裝備零部件精 密制造技術國家地方聯合工程研究中心（遼寧）、工信部第三批專精特新‘小巨人’ 企業、工信部/國家發改委等國家智能制造優秀場景、國家工業信息安全發展研究中 心2021 年中小企業數字化轉型典型案例、國家火炬中心國家高新區瞪羚企業、 遼寧省科學技術廳遼寧省瞪羚企業、沈陽市科學技術局2018 年度沈陽市科技小巨 人企業等。
1.4 產能情況：產能利用率逐年快速提升
公司的四大類產品主要產品包括工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路四 大類，產能方面的情況為： （1）、工藝和結構零部件。以精密機械制造生產工序中的關鍵設備理論工時作為產 能依據，2019 年、2020 年、2021 年的理論產能分別為 47.87 萬小時、58.65 萬小時、 97.20 萬小時；產能利用率分別為 62.70%、81.21%、90.17%。 （2）、氣體管路。2019 年、2020 年、2021 年理論產能分別為 14.4 萬件、18 萬件、 18 萬件；產能利用率快速提升，2019 年、2020 年、2021 年分別為 4.55%、23.32%和 63.18%。 公司采購的主要原材料包括鋁合金材料/不銹鋼等其他金屬原材料、加工件（經過機 械制造的鋁合金、不銹鋼等部件）、電子標準件（傳感器、執行器、電氣元件等，一般 用于模組產品）、機械標準件（管接頭、閥門、密封圈、金屬管路等，一般用于模組產 品和氣體管路）等。主要采用以銷定產模式，通過詢價、比價、議價方式在合格供應商 名錄中確定供應商；對于主要供應商，公司一般與合格供應商簽訂框架協議鎖定年度價 格。部分客戶對部分原材料的供應商存在復雜、長期的認證過程，且要求保障原材料質 量的穩定、一致性和可追溯性，因此存在部分客戶指定原材料品牌或指定原材料供應商 的情形。2021 年公司前五大原材料供應商包括華航鋁業及其關聯方、美德材料及其關 聯方、日本精工、盈沛貿易、世偉洛克等，前五大供應商占當期采購金額的比例合計 41.60%。
公司存在少量外協采購情況，2021 年外協采購占比為 3.80%，主要包括特種工藝 外協和機械制造外協兩種情形。①、特種工藝外協，主要是公司針對一部分不具備能力 或尚未成熟的特種工藝制程委外加工；②、機械制造外協，基于成本和交付周期考量， 公司會將少量機械制造工序委外加工。2021 年公司主要的外協供應商包括 APS、鳳城 市世林機械有限責任公司、達成模具、濂達科技、東博機械等。
1.5 客戶情況：成為國內外主流半導體設備廠商供應商
公司產品的高精度、高潔凈、高耐腐蝕、耐擊穿電壓等性能達到主流國際客戶標準，已進入客戶 A、東京電子、HITACHI Hi-Tech 和 ASMI 等全球半導體設備龍頭廠商供應 鏈體系，并且是客戶 A 的全球戰略供應商。同時，基于半導體設備國產化趨勢，公司積 極開拓境內市場，產品已進入包括北方華創、屹唐股份、中微公司、拓荊科技、華海清 科、芯源微、中科信裝備、凱世通等主流國產半導體設備廠商。
成為多家半導體設備公司的合格/戰略供應商。公司自 2008 年設立起對標客戶 A 的 供應商管理標準，不斷提升和完善自身管理和質量控制體系。公司在 2011 年成為客戶 A、 芯源微的合格供應商，2013 年成為東京電子、拓荊科技的合格供應商，此后陸續成為多 家下游客戶的合格供應商；2016 年、2020 年分別成為客戶 A、北方華創的戰略供應商。 客戶集中度高，這也與半導體設備精密零部件呈高度壟斷競爭格局一致。2021 年 公司前五大客戶（受同一實際控制人控制的企業合并計算）的銷售情況為客戶 A、北方 華創、華海清科、客戶 C、拓荊科技，銷售收入占當期營業收入的比例分別為 55.97%、 19.11%、5.47%、3.29%和 2.39%，合計 86.23%。
2. 財務情況：氣體管路和模組產品收入快速增長，規模效 應開始顯現
2.1 盈利情況：氣體管路/模組產品收入增長快速，業務毛利率 30%以上
收入增長明顯。公司主要有四大類產品包括工藝零部件、結構零部件、模組產品、 氣體管路，2019 年、2020 年、2021 年實現收入 25335.12 萬元、48121.85 萬元和 84312.82 萬元，2020 年、2021 年分別同比增 89.94%、75.21%。按照收入情況來看， 2019 年、2020 年、2021 年主營業務收入占比高達 98.39%、98.30%、98.38%；其他 業務收入主要為材料及廢料銷售收入和租賃收入，占營業收入的比重較小。 根據公司 2022 年三季報數據，2022Q3 單季度實現收入 4.15 億元，同比增 82.07%；2022Q1-Q3 累計實現收入 10.13 億元，同比增 76.70%。 主營業務收入按產品類別來看，工藝零部件、結構零部件為收入貢獻占比較大的兩 類產品。2021 年結構零部件、工藝零部件的占比分別為 42.44%、21.50%；模組產品、 氣體管路的收入不斷提升，2019 年、2020 年、2021 年模組產品的收入分別為 5875.55 萬元、10036.11 萬元、16123.81 萬元，增長快速；2019 年、2020 年、2021 年氣體管 路的收入分別為 557.85 萬元、5890.17 萬元和 13783.57 萬元，在主營業務收入中的占 比從 2019 年的 2.24%提升到 2021 年的 16.62%，增長明顯。 大陸地區收入貢獻占比逐年增加。2019 年、2020 年、2021 年大陸地區的收入占 比分別為 15.34%、22.30%、39.32%，逐年提升；大陸以外地區的收入占比分別為 84.66%、77.70%、60.68%，逐年下降。我們認為這主要是因為近年來國內半導體設備 公司的成長，公司陸續成為它們的供應商帶來收入增加導致。
季度收入逐季增加。公司 2019 年 Q1-Q4 四個季度的平均收入為 6231.53 萬元， 21Q4 單季度收入達 26791.16 萬元，環比增 20.72%。
整體業務毛利率 30%以上。2019 年、2020 年、2021 年公司主營業務整體毛利率 分別為 16.16%、30.99%、30.99%。工藝零部件的毛利率分別為 22.77%、36.04%、 34.02%，結構零部件的毛利率分別為 18.19%、35.35%、32.38%；氣體管路的毛利率 分別為-0.34%、34.95%、33.85%，提升明顯。 凈利潤提升明顯。2019 年、2020 年、2021 年歸母凈利潤分別為-3334.40 萬元、 9350.50 萬元和 12649.18 萬元，提升明顯；2019 年、2020 年、2021 年扣非后歸母凈 利潤分別為-6016.99 萬元、3161.11 萬元和 7484.73 萬元。
根據公司 2022 年三季報數據，2022 年 Q3 單季度實現歸母凈利潤 6278.22 萬元， 同比增 62.90%；扣非后歸母凈利潤 5005.44 萬元，同比增 61.34%；2022Q1-Q3 實現 累計歸母凈利潤 1.63 億元，同比增 98.37%；累計扣非后歸母凈利潤 1.24 億元，同比 增 134.25%。
2.2 精密零部件具備多品種、小批量、定制化特點
半導體設備精密零部件具有多品種、小批量、定制化的特點，工序繁瑣、技術難度 大，導致公司的各類產品針對不同客戶的平均單價都不太一樣。 （1）、結構零部件。公司銷售的平均單價 2019 年、2020 年、2021 年分別為 522.20 元/件、610.50 元/件、754.49 元/件；銷售給拓荊科技的平均單價高于整體銷售平均單 價較多，主要為反應腔、過渡腔和蓋板等產品。 （2）、工藝零部件。公司銷售的平均單價 2019 年、2020 年、2021 年分別為 13147.41 元/件、11396.84 元/件、10265.90 元/件；銷售給北方華創、拓荊科技的平均單價高于 整體銷售平均單價，銷售給客戶 A 的平均單價則低于整體銷售平均單價。伴隨銷售給國 內半導體設備公司的銷量逐年增加，平均單價也呈現逐年下降的態勢。
（3）、模組產品。公司銷售的整體平均單價 2019 年、2020 年、2021 年分別為 16555.52 元/件、33498.38 元/件、29109.60 元/件，銷售給客戶 A 的平均單價基本與整體銷售平 均單價較為接近，而銷售給北方華創的平均單價則低于整體銷售平均單價。（4）、氣體管路。公司銷售的整體平均單價 2019 年、2020 年、2021 年分別為 1233.92 元/件、1630.86 元/件和 1347.30 元/件，銷售給不同客戶的平均單價基本與整體銷售平 均單價較為接近。 工藝零部件、模組產品的平均單價較高，價值量較大；而氣體管路、結構零部件產 品的平均單價則略低，價值量較小。公司不同類別的產品單價隨著產品類型、不同客戶 的變化而略有波動，這也體現出精密零部件具有多品種、小批量、定制化的特性。 因為公司產品具備多品種、小批量、定制化的特性，其與不同客戶的半導體設備銷 售量之間的匹配關系互不相同。
2.3 規模效應逐步體現，期間費用率下降明顯
期間費用率下降明顯。2019 年、2020 年、2021 年公司的期間費用率分別為 34.05%、 19.89%、19.62%，隨著營業收入快速增長，規模效應逐步體現，2020 年的期間費用率 相比 2019 年大幅下降。 銷售費用率。2019 年、2020 年、2021 年公司的銷售費用率分別為 5.34%、2.54%、 1.85%，行業平均銷售費用率則分別為 2.85%、2.34%、2.58%；2021 年富創精密的銷 售費用率已低于同行業可比公司水平。 管理費用率。2019 年、2020 年、2021 年公司扣除股份支付費用后的管理費用率 分別為 13.35%、6.72%、7.12%，行業平均管理費用率分別為 7.68%、6.23%、5.37%； 2021 年富創精密的管理費用率高于同行業可比公司水平。 研發費用率。2019 年、2020 年、2021 年公司的研發費用率分別為 11.37%、7.67%、 8.80%，行業平均研發費用率分別為 2.78%、2.12%和 2.37%；富創精密的研發費用率 高于同行業可比公司水平。
流動性。2019 年、2020 年、2021 年公司的流動比率分別為 1.32 倍、2.51 倍和 1.56 倍，速動比率分別為 0.80 倍、1.96 倍和 1.16 倍，處于較為合理水平。 周轉率。2019 年、2020 年、2021 年公司的應收賬款周轉率分別為 4.05 倍、4.53 倍和 3.37 倍，存貨周轉率分別為 2.04 倍、2.42 倍和 2.64 倍。
3. 中國大陸半導體設備商的快速發展將帶動精密零部件 的需求持續增長
3.1 全球半導體設備市場增長迅速，2021 年中國大陸半導體設備需求占 比最大
全球半導體設備市場規模增長迅速。半導體設備包括光刻設備、刻蝕設備、薄膜沉 積設備、清洗設備、離子注入設備、化學機械拋光設備、封裝設備、測試設備等。近年 全球半導體設備市場規模逐步擴張。根據富創精密招股說明書援引 SEMI 統計數據，全 球半導體設備銷售規模從 2010 年 395 億美元增長到 2020 年的 712 億美元；根據 SEMI 數據，2021 年全球半導體設備銷售規模達 1026 億美元，同比增 44%。 晶圓處理設備占半導體設備的銷售額比例最大。半導體設備又可分為前道晶圓處理 設備、封裝設備、測試設備、其他設備，前道晶圓處理設備的市場規模從 2006 年的 287.4 億美元增長到 2021 年的 911.8 億美元，增長明顯。 中國大陸是 2021 年全球最大的半導體設備銷售區域。分區域來看，2021 年中國大 陸、韓國、中國臺灣地區為前三大半導體設備銷售額區域，銷售額分別達 296.2 億美元、 249.8 億美元、249.4 億美元，同比增 58%、55%、45%。
我們認為，全球半導體設備市場規模不斷增長，公司作為快速發展的半導體設備精 密零部件公司，目前產品已經進入客戶 A、北方華創等國內外優秀半導體設備公司供應 鏈體系，公司實現快速發展可期。
3.2 精密零部件在下游設備的原材料成本中占比大，市場空間較大
目前公司的半導體設備精密零部件已廣泛應用于光刻機、刻蝕設備、薄膜沉積設備、 離子注入設備、高溫擴散設備、化學機械拋光設備等領域，我們選取幾家有代表性公司 對富創精密所處的半導體設備精密零部件賽道的需求用量進行對比分析。 （1）、拓荊科技。根據拓荊科技招股說明書披露，拓荊科技采購的原材料主要包括機械 類、機電一體類、電氣類、氣體輸送系統類、真空系統類、附屬設備等，2019 年、2020 年、2021 年 1-9 月機械類原材料占其原材料采購總額的比例分別為 27.69%、25.29% 和 28.20%，氣體輸送系統類占其原材料采購總額比例分別為 8.79%、7.50%、和 8.16%。 （2）、中微公司。根據中微公司招股說明書披露，中微公司采購的原材料主要包括機械 類、電器類、機電一體類、氣體輸送系統類、傳感器類、儀器儀表類、氣動系統類等， 2016 年、2017 年、2018 年機械類原材料占其原材料采購總額的比例分別為 44.15%、 41.21%和 39.45%，氣體輸送系統類占其原材料采購總額比例分別為 11.80%、16.45% 和 17.36%。 （3）、屹唐半導體。根據屹唐半導體招股說明書披露，屹唐半導體采購的原材料主要為 機械類、電氣類、機電一體類、氣體輸送系統類等，2018 年、2019 年、2020 年機械 類占其原材料采購總額的比例分別為 33.42%、34.91%和 37.62%，氣體輸送系統類占 其原材料采購總額的比例分別為 9.12%、7.57%和 7.83%。
根據富創精密招股說明書披露，保守測算 2020 年公司涉及的工藝零部件、結構零 部件、模組產品、氣體管路四大類產品全球市場規模合計約 160 億美元。其中工藝/結 構零部件全球市場規模約 84 億美元，模組產品全球市場規模約 40 億美元，氣柜及氣 體管路全球市場規模約 35 億美元，對應市場空間較大。
3.3 市場格局：產品多而復雜，單一公司的全球市場占有率較低
半導體設備精密零部件行業內多數企業往往關注個別生產工藝或特定產品，行業相 對分散；且精密零部件供應鏈信息和相應產品的技術性能指標為各家設備廠商的敏感 信息。因此無法從公開渠道獲得同行業可比公司的產品技術指標、市場排名和占有率等。
4. 盈利預測
我們預測公司 2022E-2024E 收入分別為 14.59 億元、22.01 億元和 31.05 億元，同 比增 73.02%、50.89%和 41.08%；歸母凈利潤分別為 2.23 億元、3.65 億元和 5.03 億 元，同比增 76.50%、63.51%和 37.80%。主要基于如下假設條件：
（1）、工藝零部件。在半導體設備匯中與晶圓直接接觸或直接參與晶圓反應，一般在密 閉腔室的復雜工藝環境中參與晶圓制程，起到延長設備的使用壽命，提升晶圓制造良率 的作用。根據公司招股說明書披露，目前的工藝零部件主要產品包括腔體、內襯、勻氣 盤等，已用于立式擴散爐、刻蝕設備、離子注入機、PVD/CVD/ALD 設備等。2019 年、 2020 年、2021 年實現收入分別為 6661.79 萬元、11693.16 萬元和 17833.92 萬元，增 長迅速；在主營業務收入中占比分別為 26.73%、24.72%和 21.50%。考慮到工藝零部 件的制造難度更大，也與晶圓制造良率關系更緊密，直接影響晶圓制造良率，我們認為 公司目前的工藝零部件產品已滿足下游客戶需求，處于快速增長階段，預計 2022E-2024E 收入以 53.00%、33.00%、23.50%的增速成長，毛利率分別為 35%、34%、 33%。
（2）、結構零部件。在半導體設備中一般起連接、支撐和冷卻等作用，種類繁多，應用 廣泛，在半導體設備中一般不直接與晶圓接觸或參與晶圓反應。根據公司招股說明書披 露，目前的結構零部件主要產品包括但不限于基板、流量計底座、鉸鏈底座、蓋板、基 座、支架等多種產品，已用于立式擴散爐、光刻機、涂膠顯影設備、刻蝕設備、 PVD/CVD/ALD 設備、CMP 設備等。2019 年、2020 年、2021 年實現收入分別為 1.18 億元、1.97 億元、3.52 億元，在主營業務收入中占比分別為 47.46%、41.61%和 42.44%， 呈現下降趨勢。考慮到結構零部件在半導體設備領域中的廣泛應用性，我們預計 2022E-2024E 的收入以 35%、20%、15%的增速成長，毛利率則分別為 33.5%、33.0%、 32.5%。
（3）、模組產品。通過組裝、測試等環節將公司生產的工藝零部件、結構零部件、氣體 管路產品和外購的電子標準件和機械標準件進行裝配，形成實現部分半導體設備核心功 能的模組產品。根據公司招股說明書披露，目前的模組產品主要包括腔體模組、刻蝕閥 體模組、氣柜模組、離子注入機模組等，2019 年、2020 年、2021 年實現收入分別為 5875.55 萬元、10036.11 萬元和 16123.81 萬元，在主營業務收入中占比為 23.57%、 21.22%和 19.44%。我們預計 2022E-2024E 模組產品的收入將以 128.00%、65.00%和 43.00%的增速快速成長，毛利率分別為 25%、25%、25%。
（4）、氣體管路。用于半導體設備中的特殊工藝氣體傳送，是連接氣源到反應腔的傳輸 管道。根據公司招股說明書披露，目前的氣體管路產品主要應用于刻蝕設備、離子注入 設備、PVD/CVD/ALD 設備等領域，2019 年、2020 年、2021 年實現收入分別為 557.85 萬元、5890.17 萬元和 13783.57 萬元，在主營業務收入中占比為 2.24%、12.45%和 16.62%，占比提升非常明顯。我們認為氣體管路產品在 2022E-2024E 將實現更快成長， 氣體管路的收入將以 134.00%、95.50%和 72.50%的增速成長，毛利率分別為 35%、 35%、35%。
（5）、其他業務收入。主要為材料及廢料銷售收入和租賃收入，在營業收入的比重較小。 我們預計 2022E-2024E 的其他業務收入將分別以 50%、50%、50%的增速成長，毛利 率分別為 80%、80%、80%。
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精選報告來源：【未來智庫】。
